| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
NF3/Ar ICP를 이용한 SiO2/PR의 선택적 식각|Selective Dry Etching of SiO2 over Photo-resist using NF3/Ar Inductively Coupled Plasma 박형조, 한윤봉|Hyung Jo Park, Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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NF3/Ar ICP를 이용한 SiO2/PR의 선택적 식각|Selective Dry Etching of SiO2 over Photo-resist using NF3/Ar Inductively Coupled Plasma 박형조, 한윤봉|Hyung Jo Park, Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |