| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
Effect of bias voltage on the angular dependence of SiO2 etch rates in C4F8 plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
| 1 |
Angular dependence of SiO2 etch rate in fluorocarbon plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
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Effect of bias voltage on the angular dependence of SiO2 etch rates in C4F8 plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Angular dependence of SiO2 etch rate in fluorocarbon plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |