| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 4 |
Effect of annealing temperature on SiOCH thin films deposited by PECVD 허훈, 전재성, 이재선, 소대섭 한국공업화학회 2022년 봄 학술대회 |
| 3 |
Effect of post-annealing temperature on SiOCH film deposited by PECVD 전재성, 이재선, 유은성, 정대용, 허훈 한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
| 2 |
Effect of Post-annealing on low-k SiOCH Films deposited by PECVD 전재성, 허훈, 유은성, 김재훈, 정대용, 윤주영, 정낙관 한국공업화학회 2019년 봄 학술대회 |
| 1 |
초임계 이산화 탄소를 이용한 Pattern화된 p-SiOCH film의 복원 정재목, 배진한, 임권택 한국공업화학회 2009년 가을 학술대회 |
