| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Silicon oxide deposition by atmospheric-pressure PECVD in a circulating fluidized bed reactor 박상민, 정순화, 박성희, 김상돈 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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Silicon oxide deposition by atmospheric-pressure PECVD in a circulating fluidized bed reactor 박상민, 정순화, 박성희, 김상돈 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |