| 번호 | 제목 |
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Reduction of Large Particles and Light Point Defects (LPD) by Aging and Selective Sedimentation Process in Ceria Slurry for Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing Byong-Seog Lee, Hyun-Goo Kang, Kyung-Woong Park, Ungyu Paik, Jea-Gun Park 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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기계·화학적인 연마에서 슬러리의 특성에 따른 나노토포그래피의 영향과 numerical 시뮬레이션|Effect of Slurry Characteristics on Nanotopography Impact in Chemical Mechanical Polishing and Its Numerical Simulation Takeo Katoh, Min-Seok Kim, Ungyu Paik, Jea-Gun Park 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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Characteristic Evaluation of Slurry by Constant-Pressure Filtration Process(Effects of Solid Concentration on Slurry Characteristics) 김효정, JunIchiro Tsubaki, Tadamitu Sugimoto, Takamasa Mori 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
