번호 | 제목 |
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Multi-Density Structure of Al2O3 as a Moisture Permeation Barrier by Spatial Atomic Layer Deposition at Low Temperature 권세진, 신석윤, 최형수, 박현우, 방민욱, 이남규, 전형탁 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Al2O3 Thin Film Encapsulation by Spatial Atomic Layer Deposition Seokyoon Shin, Giyul Ham, Joohyun Park, Juhyun Lee, Hyeongsu Choi, Sejin Kwon, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |