화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 Multi-Density Structure of Al2O3 as a Moisture Permeation Barrier by Spatial Atomic Layer Deposition at Low Temperature
권세진, 신석윤, 최형수, 박현우, 방민욱, 이남규, 전형탁
한국재료학회 2017년 가을 학술대회
1 Al2O3 Thin Film Encapsulation by Spatial Atomic Layer Deposition
Seokyoon Shin, Giyul Ham, Joohyun Park, Juhyun Lee, Hyeongsu Choi, Sejin Kwon, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2017년 봄 학술대회