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3D NAND 구조내의 Si3N4의 선택적 식각을 통한패턴 SiO2 식각 제어
손창진, 김태현, 박태건, 임상우
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
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비인산계 용액 내 Si3N4/SiO2 선택적 식각 반응 및 첨가제의 영향 연구
손창진, 임상우
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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3D NAND에서 Si3N4 선택적 식각 중 발생하는 산화물 재성장 현상 연구
김태현, 손창진, 박태건, 임상우
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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인산 기반 용액을 이용한 Si3N4/SiO2 선택적 식각의 고온에서의 경향 연구
박태건, 김태현, 손창진, 임상우
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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첨가제를 이용한 SiO2 식각 속도 억제 및 Si3N4/SiO2 식각 선택비 향상
김태현, 임상우
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Film Characteristics of low-k SiOC deposited by Atomic Layer Deposition
권영균, 전형탁
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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용액 공정 기반 Li-F 동시 도핑된 산화아연 박막트랜지스터의 제작 및 전기적 특성 평가(Fabrication and electrical properties of solution-based Li-F codoped ZnO thin-film transistor)
안희주, 명재민, 이수정, 김현민
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Al2O3 Thin Film Encapsulation by Ozone-based Atomic Layer Deposition
Seokyoon Shin, Giyul Ham, Joohyun Park, Juhyun Lee, Hyeongsu Choi, Seungjin Lee, Sejin Kwon, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Developing of Inorganic Thin Film Encapsulation Layer Deposited by Low Temperature (＜100 °C) Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Kiyoung Oh, Younghak Kim, Daesoo Lee, Seog Chul Chung, Byeong Seong Cho, Jungsu Choi, Sungjin Kim, Seungjin Yun
한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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In-situ Sputtering을 이용한 투명 플렉서블 디바이스용 다층 구조 IZO/Ag/IZO 박막의 전기적 광학적 특성 (Electrical and optical properties of IZO/Ag/IZO multilayer deposited by in-situ sputtering for transparent flexible devices)
김윤철, 이수정, 장건, 명재민
한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
