| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
Effects of nitrogen reactive gas on PEALD TaNx diffusion barrier for Cu interconnect 박재형, 문대용, 한동석, 신새영, 박종완 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
| 1 |
In-situ diagnosis of tantalum precursors using Fourier transform infrared (FT-IR) spectroscopy Sukhoon Kim, Moonkyun Song, Shi-Woo Rhee 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
