번호 | 제목 |
---|---|
2 |
Investigation of Co and CoSi2 formed by two step annealing with Ti capping layer 김현정, 박진규, 전희영, 장우출, 송효석, 전형탁 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
1 |
원자층 증착법을 이용한 고 단차 Co 박막 증착 및 실리사이드 공정 연구 송정규, 박주상, 이한보람, 윤재홍, 김형준 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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Investigation of Co and CoSi2 formed by two step annealing with Ti capping layer 김현정, 박진규, 전희영, 장우출, 송효석, 전형탁 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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원자층 증착법을 이용한 고 단차 Co 박막 증착 및 실리사이드 공정 연구 송정규, 박주상, 이한보람, 윤재홍, 김형준 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |