학술대회 목록보기 번호 제목 1 원자층 화학 증착 공정을 이용한 TiCxNy 박막의 공정 조건과 조성 변화에 따른 박막 특성 연구조기희, 이시우한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 1
