| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Pd deposited by atomic layer deposition on TaN substrate and Cu fill-up of the damascene structure using electroless deposition 김영순, Jay J. Senkevich, Toh-Ming Lu, 양회창, 김길성, 신형식 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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Pd deposited by atomic layer deposition on TaN substrate and Cu fill-up of the damascene structure using electroless deposition 김영순, Jay J. Senkevich, Toh-Ming Lu, 양회창, 김길성, 신형식 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |