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Hierarchical Self‐Assembly of Thickness‐Modulated Block Copolymer for Controlling Orientations inside Silicon Trenches
오영택, 이정우, 김시몬, 고영천, 박신, 이세기, 김봉훈
한국고분자학회 2021년 가을 학술대회 |
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Advanced Metallization of Contact Fill Tungsten Thin Film Process with Controllable Growth System
김태성, 최석규, 박홍기, 선우훈, 김동우, 박진우, 권주연, 이건정, 윤원준, 전진호
한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Metal-assisted electrochemical etching을 이용한 germanium의 선택적 습식 식각
이승효, 임상우
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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High-Areal-Capacity Li-Sulfur Batteries with Self-Assembled and Trench-wall Carbon Nanotubes
유충호
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Mechanistic Study of Different Cleaning Methods to Remove Ceria Particles from Silicon Oxide Surface
한소영, 박진구, Samrina Sahir, Nagendra Prasad Yerriboina, 한광민
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Sphere-shaped ceria particles for reducing the defects in STI CMP process
김나연, 남재도, 선한나
한국고분자학회 2018년 가을 학술대회 |
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Study on interaction between ceria and various silicon-based wafers for brand-new semiconductor cleaning process
명경규, 변진욱, 임태호, 김재정
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Trench-structured 기판 상 high dose ion implanted photoresist 제거 용액 개발
오은석, 임상우
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Area-selective positioning of nanostructured self-assembling films enabled by chemical guide templates and cold spin-casting
이정혜, 최학종, 이헌, 정연식
한국고분자학회 2017년 가을 학술대회 |
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Fabrication of Archimedean Spiral Structures and Its Handedness Control Using Topographic Templates for Block Copolymer Self-assembly
이건호, 백광민, 김용주, 정연식
한국고분자학회 2017년 봄 학술대회 |
