| 번호 | 제목 |
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UV/O2 가스상 세정을 이용한 실리콘 웨이퍼상의 PEG 반응기구의 관찰 권성구, 김도현 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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전자소자기술을 위한 in-situ 저압 UV-O2/O3 스트리핑 공정변수에 대한 연구|Process Variables of in-situ Low Pressure UV-O2/O3 Stripping for Electronic Device Technology 선민철, 권성구, 김도현|Min Cul Sun, Sung Ku Kwon, Do Hyun Kim 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
