번호 | 제목 |
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Plasma Chamber의 분석과 설계를 위한 종합적 Simulation Tool개발 : VIP-SEPCAD|Development of an Integrated Simulation Tool for Plasma Chamber Analysis and Design : VIP-SEPCAD 홍선표,황일선,김헌창,설용태|Seon Pyo Hong,Il Sun Hwang,Heon Chang Kim,Yong Tea Sul 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |