| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Effect of Particle Agglomeration by Air Bubble during Tungsten (w) CMP Process 김동규, 정연아, 한광민, 한소영, 진승완, Nagendra Prasad Yerriboina, 김태곤, 박진구 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Effect of Particle Agglomeration by Air Bubble during Tungsten (w) CMP Process 김동규, 정연아, 한광민, 한소영, 진승완, Nagendra Prasad Yerriboina, 김태곤, 박진구 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |