번호 | 제목 |
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4 |
첨가물을 통한 Si3N4/SiO2 고선택비 인산 습식 에칭기술 개발 배진성, 임상우, 서동완, 박찬형 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
3 |
Synthesis of vertically aligned silicon nanowires with tunable irregular shapes using nanosphere lithography 구자훈, 이태윤 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
2 |
Study of High SelectiveSilicon Nitride/Silicon Oxide Etching 배진성, 오지숙, 서동완, 임상우 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
1 |
Si3N4/SiO2 고선택비 인산 습식 에칭기술 개발 배진성, 오지숙, 서동완, 임상우 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |