화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 첨가물을 통한 Si3N4/SiO2 고선택비 인산 습식 에칭기술 개발
배진성, 임상우, 서동완, 박찬형
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회
3 Synthesis of vertically aligned silicon nanowires with tunable irregular shapes using nanosphere lithography
구자훈, 이태윤
한국재료학회 2012년 봄 학술대회
2 Study of High SelectiveSilicon Nitride/Silicon Oxide Etching
배진성, 오지숙, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회
1 Si3N4/SiO2 고선택비 인산 습식 에칭기술 개발
배진성, 오지숙, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회