번호 | 제목 |
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침전법으로 합성한 LiNiO2의 구조적 특성에 관한 연구 황치석, 최청송 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 연마입자의 결정특성에 따른 평탄화 효율의 의존성|Dependency of Planarization Efficiency on Crystal Characteristic of Abrasives in Nano Ceria Slurry for Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing Hyun Goo Kang, Takeo Katoh, Sung Jun Kim, Ungyu Paik, Jea-Gun Park 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |