화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 The Development of High Temperature ALD_TiN
전진호, 박영훈
한국재료학회 2019년 봄 학술대회
2 내부 광전자 방출 분석에 따른 Pt/ZrO2/TiN 와 Pt/ZrO2-Al2O3-ZrO2/TiN DRAM capacitors의 쇼트키 배리어 장벽 특성 연구
서형탁, 원석재, 이상연
한국재료학회 2015년 가을 학술대회
1 Depth Resolved Band alignments of TiN/ZrO2 and TiN/ZAZ DRAM Capacitors
이상연, 유일한, 박유민, 서형탁
한국재료학회 2014년 가을 학술대회