화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 열처리시 Si 기판과 zirconate 박막 사이에 형성되는 다층 구조 분석|Interfacial multi-layer formation between a thin zirconate film and a silicon substrate during thermal treatment
허재성, 최훈상, 백상열, 손창식, 최인훈
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
2 Ultra thin ZrxSi1-xO2 with compositional gradation grown on Si (100) using Zr(N(C2H5)2)4 and Si(OC4H9)4
김재현, 용기중
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
1 Electrical and physical characteristics of MOCVD zirconium and hafnium silicate thin films using new combinations of precursors
김재현, 용기중
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회