번호 | 제목 |
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열처리시 Si 기판과 zirconate 박막 사이에 형성되는 다층 구조 분석|Interfacial multi-layer formation between a thin zirconate film and a silicon substrate during thermal treatment 허재성, 최훈상, 백상열, 손창식, 최인훈 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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Ultra thin ZrxSi1-xO2 with compositional gradation grown on Si (100) using Zr(N(C2H5)2)4 and Si(OC4H9)4 김재현, 용기중 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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Electrical and physical characteristics of MOCVD zirconium and hafnium silicate thin films using new combinations of precursors 김재현, 용기중 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |