| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Al CMP과정에서 보호막 역할을 하는 알루미늄산화막에 대한 연구|Investigation of Aluminium Oxide Functioning as a Passivating Layer during Al CMP 최재광, 탁용석|Jaekwang Choi, Yongsug Tak 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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Al CMP과정에서 보호막 역할을 하는 알루미늄산화막에 대한 연구|Investigation of Aluminium Oxide Functioning as a Passivating Layer during Al CMP 최재광, 탁용석|Jaekwang Choi, Yongsug Tak 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |