학술대회 목록보기 번호 제목 1 대구경 웨이퍼 공정을 위한 이중 주파수를 이용한 유도 결합 플라즈마 소스의 특성 연구서진석, 김기석, 김태형, anurag mishra, 김경남, 염근영한국재료학회 2013년 봄 학술대회 1
