| 번호 | 제목 |
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Control of electric characteristic of atomic layer deposited Al-doped SnO2 using annealing process 이성권, 김지수, 이도욱, 김병욱, 전형탁 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 Silicon nitride (SiNx) 박막의 PEALD 공정에 관한 연구 변지영, 지유진, 김기현, 김기석, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
