| 번호 | 제목 |
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Etching Characteristics by using Pulse-Time-Modulation in 60 MHz/2 MHz Dual-Frequency Capacitive Coupled Plasma 이철희, 염근영 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Characteristics of Low Temperature Al2O3 Encapsulation for Organic Devices by Remote Plasma Atomic Layer Deposition 오주홍, 최학영, 신석윤, 박주현, 함기열, 최용혁, 전형탁 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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유도결합플라즈마에서 CO/NH3가스를 이용한 Magnetic Tunneling Junction(MTJ) layer 식각 김성희, 전민환, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
