| 번호 | 제목 |
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Characteristics of C3F6O/O2 plasmas for chamber cleaning Sung Woo Park, Kyung Che Yang, Geun Young Yeom 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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폴리이미드고분자 분리막을 이용한 전자산업 불화가스 분리 및 처리를 위한 통합시스템 개발 육종묵, 노영석, 박문수, 오가연, 배지철 한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
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반도체 공정에서 배출되는 PFCs처리를 위한 Pilot급 평가시스템 개발 오가연, 노영석, 박문수, 육종묵, 김영진 한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
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전자산업에서 배출되는 PFCs처리 연구를 위한 Pilot급 평가시스템 개발 오가연, 박문수, 노영석, 조철희, 김영진 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
