화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Co/Ni 복합실리사이드의 FIB를 이용한 나노배선 구조의 형상 분석|Characterization of Nano Interconnect Structure in Co/Ni Composite Silicide using on FIB
김상엽, 송오성
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
2 게이트를 상정한 코발트니켈 복합 실리사이드의 물성과 미세구조|Property and Microstructure Evolution of the Cobalt Nickel Composite Silicides for Gate Application
김상엽, 송오성, 정영순
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
1 코발트/니켈 복합 실리사이드의 Metal Contact 건식식각 안정성|Dry Etch Stability with Co/Ni Composite Silicide
정영순, 송오성
한국재료학회 2004년 봄 학술대회