화학공학소재연구정보센터
번호 제목
25 Metal Chalcogenide based- Photoresists with Chemical Amplified Ligand
전승주, 김예진, 황도훈, 김명길, 임보규
한국고분자학회 2022년 봄 학술대회
24 Research of Inorganic Extreme Ultraviolet Photoresists Based on Silver Ethyl Xanthate
지형준, 김수찬, 양경민, 유지범, 이영관
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
23 Introduction of BARC and UL for Photolithographic Process: Optical and Chemical Interactions at Interfaces of Polymer Thin Films
Jae Hwan Sim, 이정준, 안재윤, 임수정, 강유진, 정기정, 김수웅, 배영은, 임재봉
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회
22 Characteristics of SiNx thin films by Remote Plasma Atomic Layer Deposition using DTDN2-H2 precursor
임경필, 전형탁, 김현준, 정찬원, 조해원
한국재료학회 2018년 가을 학술대회
21 Focus ring의 재질 및 구조 변화를 통한 Focus ring의 etch resistance 향상에 관한 연구
김수강, 양경채, 이호석, 이수정, 이원오, 염근영
한국재료학회 2017년 봄 학술대회
20 Fabrication of SiO2 Nanopatterns Based on Si-Containing Block Copolymer Self-Assembly
박창홍, 강은희, 김진백
한국고분자학회 2013년 가을 학술대회
19 POSS hybrid resists containing diazoketo groups for UV curing nanoimprint lithography (UV-NIL)
신승민, 우승아, 김진백
한국고분자학회 2013년 가을 학술대회
18 Aspect-ratio enhancement of self-assembled patterns using controlled polymer brush layers
이정혜, 김종민, 정재원, 심동민, 정연식
한국고분자학회 2013년 가을 학술대회
17 Orientation-Controlled Self-Assembled Nanolithography of Si-Containing Block Copolymers
박창홍, 강은희, 김진백
한국고분자학회 2013년 봄 학술대회
16 Study on hybrid nanoimprint resists containing diazoketo groups
신승민, 우승아, 김진백
한국고분자학회 2013년 봄 학술대회