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Metal Chalcogenide based- Photoresists with Chemical Amplified Ligand 전승주, 김예진, 황도훈, 김명길, 임보규 한국고분자학회 2022년 봄 학술대회 |
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Research of Inorganic Extreme Ultraviolet Photoresists Based on Silver Ethyl Xanthate 지형준, 김수찬, 양경민, 유지범, 이영관 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
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Introduction of BARC and UL for Photolithographic Process: Optical and Chemical Interactions at Interfaces of Polymer Thin Films Jae Hwan Sim, 이정준, 안재윤, 임수정, 강유진, 정기정, 김수웅, 배영은, 임재봉 한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
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Characteristics of SiNx thin films by Remote Plasma Atomic Layer Deposition using DTDN2-H2 precursor 임경필, 전형탁, 김현준, 정찬원, 조해원 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Focus ring의 재질 및 구조 변화를 통한 Focus ring의 etch resistance 향상에 관한 연구 김수강, 양경채, 이호석, 이수정, 이원오, 염근영 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Fabrication of SiO2 Nanopatterns Based on Si-Containing Block Copolymer Self-Assembly 박창홍, 강은희, 김진백 한국고분자학회 2013년 가을 학술대회 |
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POSS hybrid resists containing diazoketo groups for UV curing nanoimprint lithography (UV-NIL) 신승민, 우승아, 김진백 한국고분자학회 2013년 가을 학술대회 |
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Aspect-ratio enhancement of self-assembled patterns using controlled polymer brush layers 이정혜, 김종민, 정재원, 심동민, 정연식 한국고분자학회 2013년 가을 학술대회 |
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Orientation-Controlled Self-Assembled Nanolithography of Si-Containing Block Copolymers 박창홍, 강은희, 김진백 한국고분자학회 2013년 봄 학술대회 |
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Study on hybrid nanoimprint resists containing diazoketo groups 신승민, 우승아, 김진백 한국고분자학회 2013년 봄 학술대회 |