| 17 |
3D Feature profile simulation toward next generation high aspect ratio contact hole etching process under fluorocarbon and additive gas plasma
박재형, 유혜성, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
| 16 |
3D Feature profile simulation of oxygen effects in plasma oxide etching process
박재형, 유혜성, 장원석, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 15 |
3D Feature profile simulation for the oxide etching under the pulsed fluorocarbon plasma
박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
| 14 |
3D Feature profile simulation for oxide etching under fluorocarbon/oxygen mixture plasma
박재형, 유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
| 13 |
3D Feature Profile Simulation of Cyclic Fluorocarbon Atomic Layer Etching Process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
| 12 |
Simulation of the kinetic models of plasma deposition and etching in semiconductor fabrication
유혜성, 임연호, 장원석, 육영근, 유동훈, 최광성
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
| 11 |
Advanced 3D feature profile simulation with a realistic plasma surface reaction model
육영근, 임연호, 유혜성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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Advanced 3D feature profile simulation for realistic plasma etch studies
육영근, 유동훈, 조덕균, 최광성, 임연호, 장원석, 이세아, 천푸름
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
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GPU computing platform for ballistic transport in 3D feature profile simulation of plasma etching process
조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
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Multi-GPUs based 3D feature profile simulation for fluorocarbon plasma etch process
조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
