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Characteristics of silicon oxynitride barrier films grown on poly(ethylene naphthalate) for transparent patch antenna
Yong An Jung, Dongcheul Han, Sang Bong Byun, Sung Hun Lee, Soo Hyun Cho, Hanjae Shin
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Enhancing Electrical Properties of Pb(Zr,Ti)O3 Film Containing Glass Frit by Aerosol Deposition
samjeong Kim, Dae-Yong Jeong, Seongyub Ji, minkyu Kim, Seungwook Kim
한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Theoretical study and optimization on cellulose derivatives intrinsic birefringence
이지윤, 곽상규
한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
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Atomic Layer Deposition of low-k SiCN Thin Films using DTDN-2 precursor
김현준, 임경필, 정찬원, 조해원, 전형탁
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Multi-Density Structure of Al2O3 as a Moisture Permeation Barrier by Spatial Atomic Layer Deposition at Low Temperature
권세진, 신석윤, 최형수, 박현우, 방민욱, 이남규, 전형탁
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Low temperature SiOx thin film deposited by plasma enhanced atomic layer deposition for thin film encapsulation applications
Ju-Hwan Han, Jin-Seong Park
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Atomic Layer Deposited Gate Spacer for New Memory Devices
이재민, 장우출, 김현정, 권영균, 전형탁
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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VHF 플라즈마 소스를 이용한 PE-ALD 유전층 증착 공정 및 플라즈마에 의한 데미지 개선
오일권, 김태형, 염근영, 김강식, 이종훈, 이한보람, 김형준
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Low-Temperature Growth of Indium Oxide Thin Film by PEALD using Novel Indium Precursor for High-Mobility Thin Film Transistor Application
김효연, 정은애, 문금비, 박상희, 박진성, 전동주, 정택모, 한정환
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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9Remote plasma ALD of Silicon nitride at low temperature for gate spacer
김만석, 장우출, 김현정, 이재민, 이건영, 신창희, 권영균, 임희우, 전형탁
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
