화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 Metal-nano particles coated on the surface of CNTs and synthesize of MWCNTs by Helicon Plasma-Enhanced Chemical Vapor Decomposition
윤옥자, 정재국, 윤국로
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회
1 헬리콘 플라즈마로부터 중성입자 흐름의 생성 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각|Generation of Neutral Stream From Helicon Plasma and Its Application to Si Dry Etching
정석재, 양호식, 조성민|Seok-Jae. Jeong, Ho-Sik. Yang, Sung Min. Cho
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회