번호 | 제목 |
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Metal-nano particles coated on the surface of CNTs and synthesize of MWCNTs by Helicon Plasma-Enhanced Chemical Vapor Decomposition 윤옥자, 정재국, 윤국로 한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |
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헬리콘 플라즈마로부터 중성입자 흐름의 생성 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각|Generation of Neutral Stream From Helicon Plasma and Its Application to Si Dry Etching 정석재, 양호식, 조성민|Seok-Jae. Jeong, Ho-Sik. Yang, Sung Min. Cho 한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |