화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 전기적 특성 평가를 통한 Nano-Trench Patterned Si Wafer의 건식 세정 효과 분석  
채명균, 최창환
한국재료학회 2017년 가을 학술대회
1 플라즈마 처리에 의한 표면개질이 습식세정 효율에 미치는 영향
백지영, 이명화, 송재동, 김상범, 김경수, 김성현
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회