화학공학소재연구정보센터
번호 제목
17 Influence of non-corrosive etch gases containing C, H, and O elements on magnetic properties of CoPt superlattice
이재용, 최재상, 조두현, 정지원
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
16 Anisotropic etching of nanometer-scale patterned MTJ stacks under various etch gases
최재상, 이재용, 조두현, 정지원
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
15 Study on etch characteristics of nanometer-scale patterned CoFeB magnetic thin films using various etch gases
조두현, 이재용, 최재상, 정지원
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
14 Inductive coupled plasma reactive ion etching characteristics of Ta thin films for hard mask applications
최지현, 아드리안, 황수민, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
13 High density plasma reactive ion etching of Co2MnSi thin films using a CH3OH/Ar gas mixture for magnetic random access memory applications
아드리안, 최지현, 황수민, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
12 High Density Plasma Etching of IrMn Thin Films  in a HBr/Ar Plasma
이태영, 이일훈, 이광희, 정지원
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회
11 Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction Stacks in a O2/Ar Plasma
이일훈, 이태영, 정지원
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회
10 Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching ofMgO Thin Films Using a CH4/Ar Plasma(*발표취소)
김은호, 소우빈, 공선미, 정지원
한국공업화학회 2010년 가을 학술대회
9 Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각
조한나, 리유에롱, 민수련, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
8 Cl2/Ar 가스를 이용한 ZnO 박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
민수련, 이장우, 조한나, 정지원
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회