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Uniform fabrication of Pd-doped Tin Oxide Nano-array in large scale for high performing Hydrogen sensor
김진우, 정희태
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
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New approach for fabrication of Sub-20nm nanostructures by electrospinning combined with secondary sputtering lithography
유소이, 전환진
한국공업화학회 2021년 가을 학술대회 |
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Universal perpendicular orientation of block copolymer microdomains for directed self-assembly applications
오진우, 손정곤
한국고분자학회 2019년 가을 학술대회 |
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Carbon contents control of low-k material with methane plasma
송석휘, 정찬원, 김영준, 김종우, 권유림, 전형탁
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Structural and Electrical characteristics of Low-k Silicon Oxycarbide thin film deposited via Remote Plasma Atomic Layer Deposition
Yurim Kwon, Chanwon Jung, Jongwoo Kim, Suhyeon Park, Byunguk Kim, Seokhwi Song, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
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Selective CO2 conversion to CO using high aspect ratio/resolution gold nano pattern
김예솔, 정우빈, 정희태
한국고분자학회 2018년 봄 학술대회 |
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Atomic Layer Deposition of low-k SiCN Thin Films using DTDN-2 precursor
김현준, 임경필, 정찬원, 조해원, 전형탁
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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고분자 이차 스퍼터링 현상을 이용한 고해상도, 고종횡비, 고밀도, 대면적의 나노패턴 제작 및 광전자소자 응용
정희태
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
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VHF 플라즈마 소스를 이용한 PE-ALD 유전층 증착 공정 및 플라즈마에 의한 데미지 개선
오일권, 김태형, 염근영, 김강식, 이종훈, 이한보람, 김형준
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Effect of Bias Frequency on the Etching of Magnetic Tunnel junction Materials
Geun Young Yeom, Kyong Nam Kim, Kyung Chae Yang, Sung Woo Park
한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
