| 13 |
Effect of Post-annealing on low-k SiOCH Films deposited by PECVD
전재성, 허훈, 유은성, 김재훈, 정대용, 윤주영, 정낙관
한국공업화학회 2019년 봄 학술대회 |
| 12 |
Enhanced mechanical properties of SiCOH/mesoporous SiO2 ultralow dielectric films
박종민, 공병선, 김경환, 정희태
한국고분자학회 2013년 봄 학술대회 |
| 11 |
Enhanced mechanical properties of ATMS/SBA-15 composite films by dual forms
박종민, 공병선, 강상우, 정희태
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
| 10 |
Control of Diffusion Coefficient through Architecture of Pore Structures in the Low-k Films
김도헌, 임진형
한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |
| 9 |
THE ROLE OF SURFACE FUNCTIONAL GROUPS OF SiOC:H LOW-K FILMS ON THE NUCLEATION OF ATOMIC-LAYER-DEPOSITED RUTHENIUM
Jaeyeong Heo, Seok-Jun Won, Sanghyun Park, Cheol Seong Hwang, Hyeong Joon Kim
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
| 8 |
The effects of amine-content in cleaning solutions on the residue removal of Cu interconnection
고천광, 이원규
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
| 7 |
UV-O3 surface modification effects on the nucleation behavior of atomic-layer-deposited Ru film on low-k dielectric
허재영, 엄다일, 김형준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 6 |
Photo-curable MSSQ films for low-k application
김수한, 류이열, 한준희, 차국헌
한국고분자학회 2004년 가을 학술대회 |
| 5 |
The Effect of NH3 Plasma Treatment on Low Dielectric Organosilicate Thin Film
김수한, 한준희, 차국헌
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
| 4 |
Characterization of Low-k Thin Film Prepared from Structure-controlled PMSSQ Copolymers
최연승;윤도영;이진규;이희우;차국헌
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
