화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 Structural Analysis of Nanoporous Low-Dielectric Constant SiCOH Films using Organosilane Precursors
허규용, 박성규, 윤진환, 진상우, 이시우, 이문호
한국고분자학회 2007년 봄 학술대회
1 Low-k SiCOH Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition using Divinyldimethylsilane
박성규, 이시우
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회