번호 | 제목 |
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Structural Analysis of Nanoporous Low-Dielectric Constant SiCOH Films using Organosilane Precursors 허규용, 박성규, 윤진환, 진상우, 이시우, 이문호 한국고분자학회 2007년 봄 학술대회 |
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Low-k SiCOH Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition using Divinyldimethylsilane 박성규, 이시우 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |