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Synthesis and characterization of core-shell hybrid nanoparticles with PNIPAM
전민욱, 김태동, 김윤
한국고분자학회 2021년 봄 학술대회 |
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CMP용 콜로이달 실리카의 합성과 특성(Preparation and characterization of colloidal silica for CMP aplication)
김승윤, 김동현, 최용성, 김문성, 이승호, 김대성, 이승훈, 임형미
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Mechanistic Study of Different Cleaning Methods to Remove Ceria Particles from Silicon Oxide Surface
한소영, 박진구, Samrina Sahir, Nagendra Prasad Yerriboina, 한광민
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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A Novel Method to Evaluate the Catalyst Effect on the Performance of W CMP Process
한소영, 정연아, 류헌열, Maneesh Kumar Poddar, Nagendra Prasad Yerriboina, 김재현, 박종대, 이민건, 박창용, 한성준, 김명준, 박진구
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
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Sphere-shaped ceria particles for reducing the defects in STI CMP process
김나연, 남재도, 선한나
한국고분자학회 2018년 가을 학술대회 |
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Study on interaction between ceria and various silicon-based wafers for brand-new semiconductor cleaning process
명경규, 변진욱, 임태호, 김재정
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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GaN Template Fabrication on Trapezoid Patterned Sapphire Substrate using SOG Mask with Different Buffer Layers
심규연, 정우섭, 조승희, 고현아, 이두원, 안민주, 강성호, 변동진
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Selective Cu Electrodeposition in Submicrometer Trenches for RDL Process Using Microcontact Printing
이진현, 박기문, 진상현, 유봉영
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Ultra-thin Silicon Strain Gauge Fabrication Process
최준환, 김정식
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Structural reliability evaluation of low-k nanoporous dielectric interlayers integrated into microelectric devices
허규용, 브라이언 지원 리, 이호열, 최경근, 이문호
한국고분자학회 2016년 봄 학술대회 |
