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Insulation Shield를 이용한 Through-Mask Electrochemical Micromachining공정의 균일도 개선
김명준, 류헌열, 박진구
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Etchant wettability in bulk micromachining of Si by metal-assisted chemical etching
Yeong Bahl Lee, Dahl-Young Khang
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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실리콘 마이크로머시닝 공정을 이용한 스트레인게이지 압력 센서의 설계 및 제조
김범준, 김정식
한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
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Electrochemical etching을 이용한 bumping mask 제작
안재빈, 류헌열, 박진구
한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
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Highly Sensitive MOSFET Hydrogen Sensor with Thermally Isolated Structure
김범준, 김정식
한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
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Bulk Micromachining of Si by Metal-assisted Chemical Etching with optimized metal type and morphology
KIM SANGMI, Dahl-Young Khang
한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
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듀얼 디퓨저 리소그래피를 이용한 3차원 마이크로 구조의 제작
한동호, Hassan Hafeez, 류헌열, 조시형, 박진구
한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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High Sensitivity and Low Power Consumption CO Micro Gas Sensor based on Nano-powders and Micro-heater
문승언, 이재우, 최낙진, 이형근, 양우석, 김종대
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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Controllable formation of Si nano-pillar array for silicon membranes
김진태, 옥치원, 최대현, 김광우, Mohammad Rizwan Khan, 임연호
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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Laser Micromachining of Silicate Glass Containing Samarium Ions Using a Pulsed Laser
김태호, 이규호, 김영석, 정영준, 류봉기
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
