| 번호 | 제목 |
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전기적 특성 평가를 통한 Nano-Trench Patterned Si Wafer의 건식 세정 효과 분석 채명균, 최창환 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Fabrication of mesoporous organosilica in a shallow nanotrench for low-k and high elastic modulus material application LEE JAMES SANGMIN, 장정식 한국공업화학회 2014년 가을 학술대회 |
