| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
고밀도 플라즈마를 사용한 polysilicon 박막의 nanometer 크기의 패터닝|Nanometer-sized patterning of polysilicon thin films using a high density plasma 변요한,김혜인,송영수,정지원|Yo Han Byun,Hye In Kim,Young Soo Song,Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 사용한 polysilicon 박막의 nanometer 크기의 패터닝|Nanometer-sized patterning of polysilicon thin films using a high density plasma 변요한,김혜인,송영수,정지원|Yo Han Byun,Hye In Kim,Young Soo Song,Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |