| 번호 | 제목 |
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중성빔을 이용한 블록공중합체 패턴의 저손상 식각에 관한 연구 장원준, 김교운, 오지수, 김희주, 홍종우, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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BCl3 Gas와 Ar Neutral Beam을 이용한 High-k Dielectric Material의 초정밀 저손상 원자층 식각 김찬규, 민경석, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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Neutral Beam을 이용한 Aluminum Oxide Gate Dielectric 의 Fluorination 에 관한 연구 김회준, 민경석, 김찬규, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
