| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
다중 Wafer에 균일한 SiC피복용 새로운 CVD-Boat Reactor의 개발|Development of a novel CVD-Boat Reactor for uniform SiC Coating on Multiple Wafers 이보성|Bosung Rhee 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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다중 Wafer에 균일한 SiC피복용 새로운 CVD-Boat Reactor의 개발|Development of a novel CVD-Boat Reactor for uniform SiC Coating on Multiple Wafers 이보성|Bosung Rhee 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |