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Carbon contents control of low-k material with methane plasma
송석휘, 정찬원, 김영준, 김종우, 권유림, 전형탁
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Structural and Electrical characteristics of Low-k Silicon Oxycarbide thin film deposited via Remote Plasma Atomic Layer Deposition
Yurim Kwon, Chanwon Jung, Jongwoo Kim, Suhyeon Park, Byunguk Kim, Seokhwi Song, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
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Mesoporous silica catalysts modified with sulfonic groups for ring opnening polymerization of cyclosiloxane
이연송, 박인, 이동현
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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Film Characteristics of low-k SiOC deposited by Atomic Layer Deposition
권영균, 전형탁
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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광섬유 클래드 모재 증착을 위한 OMCTS 기화기 설계 및 OVD법을 이용한 SiO2 프리폼 형성
최진석, 안성진
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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디메틸하이드록시실릴기가 사슬 말단에 도입된 디메틸폴리실록산의 합성
허광선, 김봉수
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
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Thermal degradation and rheological behavior of styrene-co-acrylonitrile modified by sonochemical polymerization of octamethylcyclotetrasiloxane in styrene-co-acrylonitrile solution
김형수, 최미경, 김지혜, 김유빈
한국고분자학회 2008년 가을 학술대회 |
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Direct preparation of dimethyldisiloxane spheres
김영아, 김영백
한국고분자학회 2004년 봄 학술대회 |
