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3D Feature profile simulation of oxygen effects in plasma oxide etching process
박재형, 유혜성, 장원석, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
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Universal surface reaction model with diffusion effect in plasma oxide etching process
유혜성, 임연호, 박재형, 육영근, 유동훈, 최광성
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
| 11 |
Verification of atomic-scale simulations with experimental data in plasma oxide etching process
박재형, 장원석, 유혜성, 육영근, 임연호
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
| 10 |
3D Feature profile simulation for the oxide etching under the pulsed fluorocarbon plasma
박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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3D Feature profile simulation for oxide etching under fluorocarbon/oxygen mixture plasma
박재형, 유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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Plasma surface reaction modeling coupled with global bulk plasma model in fluorocarbon plasmas
이세아, 천푸름, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 권득철, 임연호, 장원석
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
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Recovery of copper oxide powder from etching waste solution
전현, 정래윤, 이승범, 홍인권
한국공업화학회 2013년 봄 학술대회 |
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Analysis of stepped Al2O3 control oxide NFGM for improve multi-level characteristics
Young Woong Moon, Duck Kyun Choi
한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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Electrochemical etching of a niobium foil for electrolytic capacitors
김경민, 최진섭
한국공업화학회 2012년 가을 학술대회 |
| 4 |
Study of High SelectiveSilicon Nitride/Silicon Oxide Etching
배진성, 오지숙, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
