| 번호 | 제목 |
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Effects of pH variation in post-etch cleaning solutions 고천광, 김태경, 원동수, 손향호, 이원규 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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The effects of amine-content in cleaning solutions on the residue removal of Cu interconnection 고천광, 이원규 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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구리배선에서 식각후잔류물에 대한 세정액의 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
