번호 | 제목 |
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증착 온도를 변화시켜 DC magnetron sputter로 증착한 Ga-doped ZnO 박막의 특성 (Ga-doped ZnO films deposited at different temperatures with DC magnetron sputter) 박지현, 신범기, 이민정, 이태일, 명재민 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
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Rotating cylindrical target 이 장착된 Magnetron sputter 로 온도를 변화시켜 증착한 Al-doped ZnO 박막의 특성 (Properties of Al-doped ZnO films deposited at different temperatures with Rotating Cylindrical Target) 박지현, 신범기, 이민정, 이태일, 명재민 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |