화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 원자층 증착법을 이용한 고 단차 Co 박막 증착 및 실리사이드 공정 연구
송정규, 박주상, 이한보람, 윤재홍, 김형준
한국재료학회 2012년 봄 학술대회
3 N2/H2 plasma를 이용한 Co 원자층 증착 공정 및 물성
윤재홍, 김도영, 김형준
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
2 루테늄 첨가에 의한 니켈모노실리사이드의 안정화
윤기정, 송오성, 김종률, 최용윤
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
1 게이트를 상정한 코발트니켈 복합 실리사이드의 물성과 미세구조|Property and Microstructure Evolution of the Cobalt Nickel Composite Silicides for Gate Application
김상엽, 송오성, 정영순
한국재료학회 2005년 봄 학술대회