번호 | 제목 |
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원자층 증착법을 이용한 고 단차 Co 박막 증착 및 실리사이드 공정 연구 송정규, 박주상, 이한보람, 윤재홍, 김형준 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
3 |
N2/H2 plasma를 이용한 Co 원자층 증착 공정 및 물성 윤재홍, 김도영, 김형준 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
2 |
루테늄 첨가에 의한 니켈모노실리사이드의 안정화 윤기정, 송오성, 김종률, 최용윤 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
1 |
게이트를 상정한 코발트니켈 복합 실리사이드의 물성과 미세구조|Property and Microstructure Evolution of the Cobalt Nickel Composite Silicides for Gate Application 김상엽, 송오성, 정영순 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |