| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Level Set 방법을 이용한 고밀도 플라즈마 식각 프로파일 모델링|Mathematical Modeling of Etched Profiles in High Density Plasmas using a Level Set Method 임연호, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Lim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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Level Set 방법을 이용한 고밀도 플라즈마 식각 프로파일 모델링|Mathematical Modeling of Etched Profiles in High Density Plasmas using a Level Set Method 임연호, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Lim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |