| 번호 | 제목 |
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Level set 방법을 이용한 실리콘 식각 프로파일 모사|Simulation of Silicon Etch Profiles in High Density Plasmas using a Level Set Method 임연호, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Im, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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고밀도 플라즈마 식각 반응기의 Sheath dynamics해석|Mathematical Modeling of Sheath Dynamics in High Density Plasmas 임연호, 박진수, 최창선, 한윤봉|Yeon Ho Im, Jin Soo Park, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
