| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
Study of Silicon Oxidation in a 12-Inch Remote Plasma-Enhanced Rapid Thermal Processor 이혜원, 이광순 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 1 |
활성산소종의 확산에 의한 실리콘 산화막 형성 이원규, 고천광 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
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| 2 |
Study of Silicon Oxidation in a 12-Inch Remote Plasma-Enhanced Rapid Thermal Processor 이혜원, 이광순 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 1 |
활성산소종의 확산에 의한 실리콘 산화막 형성 이원규, 고천광 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |