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Characteristics of silicon oxynitride barrier films grown on poly(ethylene naphthalate) for transparent patch antenna
Yong An Jung, Dongcheul Han, Sang Bong Byun, Sung Hun Lee, Soo Hyun Cho, Hanjae Shin
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Elucidating the Molecular Structure of Amorphous H:SiON Films through Gas Permeation Behavior
박인호, 박호범
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
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RF magnetron sputtering 법에 의해 제조된 SiON 박막의 기계적, 광학적 특성 향상
이광, 이기선
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Materials engineering of functional thin films deposited onto polyester film substrate
Satoru IWAMORI
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Ultra high etch selectivity and variation of line edge roughness during etching of silicon oxynitride with patterned extreme ultra-violet resist resist in dual-frequency capacitively coupled plasmas
권봉수, 이정훈, 이내응
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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Luminescent characteristics of strontium silicon oxynitride prepared by Spray Pyrolysis
정유리, 정경열
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
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Silicon oxynitride gas barrier coatings on poly(ether sulfone) for flexible LCD substrates
곽순종, 심준호, 윤호규, 김인선, 나상현
한국고분자학회 2007년 봄 학술대회 |
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Preparation and luminescent proportion of barium silicon oxynitride particles by spray pyrolysis
박경애, 정유리, 송미영, 정경열
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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PECVD법으로 증착된 silicon oxynitride의 물성 분석|Physical analysis of silicon oxynitride deposited by PECVD
조유정, 한길진, 김영철
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
