번호 | 제목 |
---|---|
2 |
Si wafer의 wet etching 시 etching속도에 미치는 온도 영향 이현용, 서승국, 노재승, 고성우 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
1 |
화학적 etching에 의한 Si wafer의 slim화에 따른 표면특성 변화 김범준, 노재승, 서승국, 고성우 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
번호 | 제목 |
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Si wafer의 wet etching 시 etching속도에 미치는 온도 영향 이현용, 서승국, 노재승, 고성우 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
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화학적 etching에 의한 Si wafer의 slim화에 따른 표면특성 변화 김범준, 노재승, 서승국, 고성우 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |